Fundusze Europejskie
Rzeczpospolita Polska
PARP
Unia Europejska
Kratos

Oprogramowanie MEMs ARXPS

Specjalistyczne oprogramowaniem do analizy danych zebranych w trakcie badania profili głębokościowych za pomocą metody zmienno kątowej. MEMs ARXPS umożliwia optymalizację i rekonstrukcję profili głębokościowych dzięki czemu możliwe jest określenie składu danej warstwy nawet dla grubości 0,5 nm, czyli na przykład warstw Langmuira-Blodgeta.

Oprogramowanie MEMsARXPS wykorzystuje technikę obliczeniową Monte Carlo w obliczeniach maksimum entropii, uwzględnia przekroje czynne dla emisji zależnie od energii promieniowania, uwzględnia też współczynniki absorbcji elektronów w zależności od ich energii. Obliczenia uwzględniają oddziaływania elastyczne elektronów, wpływ matrycy i zależność intensywności sygnału od kąta wyjścia. Dzięki temu w obliczeniach doskonale uwzględnione są szumy dekonwolucyjne dla poszczególnych warstw oraz uwzględnione są odległości wyjścia elektronów z poszczególnych warstw.

1 2
3 4

Rys. Przykładowy eksperyment ARXPS. Zgodnie ze wskazówkami zegara: dane doświadczalne, standardowe profile głębokościowe, profile głębokościowe po rekonstrukcji za pomocą oprogramowania MEMsARXPS dla próbek tlenku glinu oraz warstwy Langmuira-Blodgeta zawierającej azot i żelazo.