Fundusze Europejskie
Rzeczpospolita Polska
PARP
Unia Europejska
Kratos

Spektrometr XPS AXIS SUPRA DLD

Konstrukcja spektrometru AXIS SUPRA DLD oparta jest między innymi o opatentowane przez firmę Kratos soczewkę magnetyczną, neutralizację ładunku typu 3D, podwójny system analizatorów (sferyczny, SMA i hemisferyczny, HSA) i nowo opracowany detektor typu delay-line (DLD). Zoptymalizowana konstrukcja umożliwia osiąganie rozdzielczości i czułości niedostępnych dla innych rozwiązań, np. rozdzielczość obrazowania wynosi 1 µm.

Zestaw AXIS Supra zapewnia różne tryby pracy, analizę dużych próbek (do 30x90 mm), małych powierzchni, analiz kątowych oraz wykonywanie profili głębokościowych. Dzięki zastosowaniu równoległego trybu spektroskopii i obrazowania czas otrzymywania mapy jednej energii wynosi około 3-4 min. z możliwością badań ilościowych, zaś rozdzielczość obrazu wynosi 256 x 256 pikseli.

Zestaw AXIS Supra może być rozbudowywany o wiele opcji. Na przykład techniki Augera, SEM, UPS, ISS, SIMS, celę reakcyjną oraz komory przygotowawcze różnego przeznaczenia.

Spektroskopowe obrazowanie ilościowe

Obraz próbki SiO2/Si zawierającej w środku materiał niefotoaktywny. Czas rejestracji 16 min. Pokazane spektrum zostało otrzymane ze skanu 2 pikselowego (3µm).

2

Spektroskopia SNAPSHOT 
Detektor DLD firmy Kratos (128 kanałów energii) może być używany zarówno do standardowych pomiarów spektroskopowych w trybie skanowania energii jak i w trybie nieskanującym (Snapshot). W trybie Snapshot badana energia jest zdefiniowana i odpowiednie energie są odpowiednio rejestrowane w kanałach detektora. Wynikiem takiego postępowania jest rejestracja spektrum w ciągu kilku sekund.

Rysunek przedstawia spektrum C1s zebrane z powierzchni 15µm czystego PET.

3

Neutralizacja ładunku 3D

Opatentowany przez firmę Kratos sposób neutralizacji ładunku umożliwia ten proces w geometrii 3D bez konieczności stosowania wielu dział neutralizujących. Opatentowane urządzenie wykorzystuje niskoenergetyczne elektrony. Rozwiązanie firmy Kratos umożliwia badanie nawet materiałów całkowicie nieprzewodzących z bardzo dobrą czułością i rozdzielczością.

Przykład wyników analizy pulpy celulozowej.

4

Nowoczesna konstrukcja całego zestawu XPS AXIS SUPRA w połączeniu z zaawansowanym oprogramowaniem umożliwia pozycjonowanie atomów w monowarstwach, czyli przygotowywanie profili głębokościowych z dokładnością atomowa.

5